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珂玛科技:陶瓷加热器及8寸型号静电卡盘已经量产,将重点研发12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件

信息来源:taoci163.com   时间: 2024-09-14  浏览次数:22


本文源自:金融界

金融界9月13日消息,有投资者在互动平台向珂玛科技提问:贵公司不断突破中高端产品技术瓶颈,推动国产替代进程。请问能否介绍一下贵公司在解决陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研发和量产以及订单情况?祝愿公司在国产替代的道路上高奏凯歌、一路长虹!

公司回答表示:公司陶瓷加热器已有多款型号装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等,装配于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也已经量产。公司将进一步完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品,并重点研发突破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件,加速推动市场化应用。


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