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国家知识产权局信息显示，浙江先导热电科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆加热盘上陶瓷球跌落测试方法”的专利，公开号CN 121048856 A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆加热盘上陶瓷球跌落测试方法，旨在提供一种能够更加全面的模拟晶圆实际加工处理工况从而有效准确地评估陶瓷球在各种因素综合作用下的抗跌落性能的晶圆加热盘上陶瓷球跌落测试方法。它包括以下步骤：步骤一，在晶圆加热盘上，按照规定的布局和数量安装陶瓷球；使用图像采集设备记录各陶瓷球的初始位置和状态；步骤二，将晶圆加热盘置于振动测试设备中；启动振动测试设备，设置振动频率从低到高逐渐变化，这个过程中通过图像采集设备实时监测各陶瓷球的状态；步骤三，启动温度控制设备，将晶圆加热盘的温度按照设定的温度变化曲线进行控制；这个过程中通过图像采集设备实时监测各陶瓷球的状态。
天眼查资料显示，浙江先导热电科技股份有限公司，成立于2017年，位于衢州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江先导热电科技股份有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可4个。
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