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国家知识产权局信息显示，杭州大和江东新材料科技有限公司申请一项名为“一种陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具及检测方法”的专利，公开号CN 121048490 A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具及检测方法，其中陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具包括浮动调节机构，包括浮动支撑盘，所述浮动支撑盘通过若干组调节旋钮和锁紧装置连接外轮廓盘，所述外轮廓盘连接真空腔体并与卡盘之间形成真空腔室；所述真空腔体内部设置若干个旋转下压气缸，通过若干根伸缩支撑杆连接快换支撑盘；真空模组，其通过气管与所述真空腔室和外部气源连通；升降模组，其通过底板可拆卸连接在光学平台上；微调模组，其与所述升降模组固定连接，所述浮动调节机构固定连接在所述浮动模组上。本发明中的检测治具采用模块化设计，能够适应不同孔位和尺寸的陶瓷真空卡盘安装与检测。
天眼查资料显示，杭州大和江东新材料科技有限公司，成立于2014年，位于杭州市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本6630万美元。通过天眼查大数据分析，杭州大和江东新材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可12个。
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