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国家知识产权局信息显示，江苏师范大学和江苏锡沂高新材料产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种铠装强化型氧化钇复合陶瓷及其制备方法”的专利，公开号CN121044901A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种铠装强化型氧化钇复合陶瓷及其制备方法。采用高纯氧化钇陶瓷为内核，保证其优异的耐氟基和氯基等离子体腐蚀性能；外层采用含10at％～15at％Mg的氧化钇‑氧化镁复合陶瓷形成铠装层，显著提升材料的力学性能和抗裂性。通过在铠装层上设计蜂窝状单元结构，实现轻质高强复合陶瓷构件，兼顾耐腐蚀性和高强度，解决了传统氧化钇陶瓷强度低及易破裂的问题。本发明制备陶瓷部件适用于半导体等离子体蚀刻及清洗设备等极端腐蚀环境，具有优异的耐腐蚀性能、力学稳定性和结构可靠性，显著延长使用寿命并降低制造成本，推动高端半导体制造装备材料升级。
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